一种用于硅片盒流转入库的下料系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422651197.7
申请日
2024-10-31
公开(公告)号
CN223328280U
公开(公告)日
2025-09-12
发明(设计)人
卜兆宁 堵志鹏 张久武 王帅 谭永麟
申请人
天津中环领先材料技术有限公司 中环领先半导体科技股份有限公司
申请人地址
300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区(环外)海泰东路12号内
IPC主分类号
B65G1/04
IPC分类号
代理机构
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人
栾志超
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片的下料装置及硅片的下料流转系统 [P]. 
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张伟建 ;
董少波 ;
张璞 ;
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胡红刚 ;
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[2]
一种旋转入库停车装置 [P]. 
王远强 .
中国专利 :CN204876702U ,2015-12-16
[3]
一种硅片下料盒 [P]. 
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[4]
一种用于硅片下料的运输系统 [P]. 
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沈永臻 ;
林纲正 ;
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中国专利 :CN212049415U ,2020-12-01
[5]
一种方便存取硅片的下料盒 [P]. 
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甘大源 ;
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[6]
一种硅片自动下料系统 [P]. 
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[7]
一种硅片上下料系统 [P]. 
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[8]
一种硅片上下料系统 [P]. 
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[9]
一种硅片盒 [P]. 
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[10]
一种半导体硅片入库光学检测操作台 [P]. 
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付斌 ;
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