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基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080069846.4
申请日：
2020-09-29
公开(公告)号：
CN114467017B
公开(公告)日：
2025-09-02
发明(设计)人：
J·F·莱索因
申请人：
昂图创新有限公司
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
G01N21/21
IPC分类号：
G02B27/28
G01N21/01
G01J4/00
G01J3/02
代理机构：
北京市汉坤律师事务所 11602
代理人：
王其文;张涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-02 | 授权 | 授权 |