基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511124034.6

申请日：

2020-09-29

公开(公告)号：

CN120890916A

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

J·F·莱索因

申请人：

昂图创新有限公司

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G01N21/21

IPC分类号：

G02B27/28 G01N21/01 G01J3/02 G01J4/00

代理机构：

北京市汉坤律师事务所 11602

代理人：

王其文;张涛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	公开	公开
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/21申请日:20200929

共 50 条

[1]

基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统 [P].

J·F·莱索因 .

美国专利 :CN114467017B ,2025-09-02

[2]

基于分束器的椭圆偏振仪聚焦系统 [P].

J·F·莱索因 .

中国专利 :CN114467017A ,2022-05-10

[3]

快照椭圆偏振仪 [P].

G·A·P·霍沃尔卡 ;

J·A·范德斯利斯 .

中国专利 :CN111542734A ,2020-08-14

[4]

使用两个激光器的椭圆偏振仪 [P].

克拉斯·赫姆斯 ;

卡尔·理查德·科普斯 .

中国专利 :CN1111734C ,2000-08-02

[5]

椭圆偏振仪及估计膜厚度的方法 [P].

徐丰源 ;

杨棋铭 ;

许青翔 ;

陈其贤 .

中国专利 :CN110873553A ,2020-03-10

[6]

消光-光度兼容的椭圆偏振仪 [P].

吴启宏 .

中国专利 :CN1005928B ,1988-01-06

[7]

一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法 [P].

郭海燕 ;

吴锜 .

中国专利 :CN113794839A ,2021-12-14

[8]

消光—光度兼容的椭圆偏振仪 [P].

吴启宏 .

中国专利 :CN87207289U ,1988-04-20

[9]

一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法 [P].

郭海燕 ;

吴锜 .

中国专利 :CN112969026A ,2021-06-15

[10]

偏振分束器及利用该分束器的偏振器 [P].

香川正毅 ;

佐佐木俊雄 .

中国专利 :CN1223869C ,2004-03-17

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