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一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111228228.2
申请日：
2021-10-21
公开(公告)号：
CN113794839A
公开(公告)日：
2021-12-14
发明(设计)人：
郭海燕
吴锜
申请人：
申请人地址：
253000 山东省德州市经济技术开发区中元科技创新创业园E座519
IPC主分类号：
H04N5232
IPC分类号：
G01N2121
代理机构：
青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104
代理人：
于正河
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H04N 5/232 申请日:20211021 |
| 2021-12-14 | 公开 | 公开 |