一种可稳定抓取晶圆片的分选机械抓取装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422617819.4
申请日
2024-10-29
公开(公告)号
CN223367585U
公开(公告)日
2025-09-23
发明(设计)人
蔡永礼 王文和
申请人
上海思恩装备科技股份有限公司
申请人地址
201600 上海市松江区三浜路9弄100号2幢一层-1
IPC主分类号
B07C5/36
IPC分类号
B07C5/38 H01L21/677
代理机构
安徽金澜知识产权代理事务所(普通合伙) 34353
代理人
吴婷婷
法律状态
授权
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
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