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静电卡盘装置和温度控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210074039.2
申请日：
2022-01-21
公开(公告)号：
CN114496889B
公开(公告)日：
2025-09-16
发明(设计)人：
刘建
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
G05D23/20
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
兰天爵
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-16 | 授权 | 授权 |