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温度可调式多区静电卡盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080012416.9
申请日：
2020-01-27
公开(公告)号：
CN113383410A
公开(公告)日：
2021-09-10
发明(设计)人：
P·克里米诺儿
Z·郭
A·迈尔斯
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H05B102
H01L2167
G05B19404
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
侯颖媖;张鑫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-10 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200127 |