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卡盘及卡盘的温度控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410276722.3
申请日：
2024-03-12
公开(公告)号：
CN118173491A
公开(公告)日：
2024-06-11
发明(设计)人：
王洪洲
张宇龙
范少峰
时连辉
崔晓兵
申请人：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址：
102628 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/66
G05D23/20
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
陶程程
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240312 |
| 2024-06-11 | 公开 | 公开 |