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紫外波长范围的光学模块
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202480013492.X
申请日：
2024-02-22
公开(公告)号：
CN120660043A
公开(公告)日：
2025-09-16
发明(设计)人：
S·西克斯
T·格鲁纳
V·施科洛弗
S·比林
M·施瓦布
T·温泽尔
M·瓦格纳菲尔
U·洛林
申请人：
卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请人地址：
德国上科亨
IPC主分类号：
G03F7/00
IPC分类号：
G02B7/02
G02B1/10
C09D5/32
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王蕊瑞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-16 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20240222 |