光刻机突发故障处理方法及光刻机系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511106907.0

申请日：

2025-08-08

公开(公告)号：

CN120610449A

公开(公告)日：

2025-09-09

发明(设计)人：

张琪符友银邓丽君姚孝珍

申请人：

新毅东（北京）科技有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G06F18/2433

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

高晓艳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2025-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250808
2025-09-09	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻机突发故障处理方法及光刻机系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

邓丽君 ;

姚孝珍 .

中国专利 :CN120610449B ,2025-10-17

[2]

光刻机照明系统及光刻机 [P].

金成昱 ;

金帅炯 ;

梁贤石 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114675494A ,2022-06-28

[3]

光刻方法及光刻机 [P].

李海峰 ;

赵志豪 ;

沈俊明 ;

古哲安 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN120949523B ,2025-12-16

[4]

光刻机及光刻机污染控制方法 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

谢婉露 .

中国专利 :CN119781255A ,2025-04-08

[5]

光刻机对准方法、装置及光刻机 [P].

罗先刚 ;

李成建 ;

刘明刚 .

中国专利 :CN119356050A ,2025-01-24

[6]

光刻方法及光刻机 [P].

李海峰 ;

赵志豪 ;

沈俊明 ;

古哲安 ;

吴建宏 .

中国专利 :CN120949523A ,2025-11-14

[7]

徐程 ;

宋兴龙 .

中国专利 :CN302290339S ,2013-01-16

[8]

郭耸 ;

徐程 .

中国专利 :CN302441447S ,2013-05-22

[9]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

[10]

光刻机及光刻机的压板装置 [P].

胡刚 ;

陈东 ;

项宗齐 .

中国专利 :CN214375824U ,2021-10-08

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