测量装置、测量程序及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210066030.7

申请日：

2022-01-20

公开(公告)号：

CN115493498B

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

笠健太郎

申请人：

铠侠股份有限公司

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

H01L21/66 G03F7/20

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

杨林勳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	授权	授权

共 50 条

[1]

测量装置、测量程序及测量方法 [P].

笠健太郎 .

中国专利 :CN115493498A ,2022-12-20

[2]

测量装置、测量系统、测量程序以及测量方法 [P].

渡边义浩 ;

石川正俊 ;

加地宏乃介 .

中国专利 :CN112771367A ,2021-05-07

[3]

测量装置、测量方法、以及测量程序 [P].

野口真伍 ;

木代雅巳 .

中国专利 :CN107278265A ,2017-10-20

[4]

测量方法、测量装置和测量程序 [P].

志村重辅 ;

诸冈正浩 .

中国专利 :CN104160287A ,2014-11-19

[5]

测量系统、车辆、测量装置、测量程序以及测量方法 [P].

妹尾拓 ;

平野正浩 ;

岸则政 ;

石川正俊 ;

铃木健二 ;

潘尧 ;

仲笑笑 ;

丸山浩史 .

中国专利 :CN115135959A ,2022-09-30

[6]

测量方法、测量装置、测量系统以及测量程序 [P].

小林祥宏 .

中国专利 :CN115541151A ,2022-12-30

[7]

测量系统、测量方法、以及测量程序 [P].

平野正浩 ;

妹尾拓 ;

岸则政 ;

石川正俊 .

中国专利 :CN113167579A ,2021-07-23

[8]

电流测量装置、电流测量方法及电流测量程序 [P].

本桥勇人 ;

平山博文 ;

长岛直纪 .

中国专利 :CN102472781A ,2012-05-23

[9]

眨眼测量方法、眨眼测量装置及眨眼测量程序 [P].

铃木一隆 ;

宅见宗则 ;

袴田直俊 ;

丰田晴义 ;

松井克宜 .

中国专利 :CN106175801A ,2016-12-07

[10]

测量装置、测量方法、半导体装置的制造方法及测量程序 [P].

益川和之 ;

大桥拓司 ;

大塚秀太郎 ;

古林爱 ;

佐佐木俊行 ;

桥本隆希 .

日本专利 :CN121230901A ,2025-12-30

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