一种反应腔开合控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422264316.3

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN223427455U

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

郑国王善奇

申请人：

上海衍梓智能科技有限公司

申请人地址：

201821 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路912号JT17121室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

G01V11/00

代理机构：

北京识然知识产权代理事务所(普通合伙) 11975

代理人：

申世娟

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体晶圆加工用反应腔开合控制结构 [P].

郑国 ;

杨正平 .

中国专利 :CN223422346U ,2025-10-10

[2]

一种门窗开合控制装置 [P].

刘翔 .

中国专利 :CN206600097U ,2017-10-31

[3]

一种门窗开合控制装置 [P].

梁晓宏 .

中国专利 :CN205531849U ,2016-08-31

[4]

一种开合角度控制装置 [P].

吴康勇 ;

张大荣 ;

黄珊 ;

谢爱华 .

中国专利 :CN221666883U ,2024-09-06

[5]

一种壳体开合控制装置 [P].

张乐群 .

中国专利 :CN222235218U ,2024-12-24

[6]

一种舞台幕开合行程控制装置 [P].

邹清云 ;

胡平安 .

中国专利 :CN204319783U ,2015-05-13

[7]

一种横梁开合装置以及横梁开合控制系统 [P].

束东方 ;

石峰 ;

姜辛 .

中国专利 :CN206903977U ,2018-01-19

[8]

一种反应腔中反应气体输送控制装置 [P].

李冰妍 .

中国专利 :CN216585201U ,2022-05-24

[9]

手开伞开合控制装置 [P].

王安邦 .

中国专利 :CN201213527Y ,2009-04-01

[10]

门窗开合控制装置 [P].

周超 ;

孟军霞 ;

程卫升 .

中国专利 :CN206617020U ,2017-11-07

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