一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置

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专利类型
发明
申请号
CN202510602761.2
申请日
2025-05-12
公开(公告)号
CN120134111B
公开(公告)日
2025-09-26
发明(设计)人
刘春芳 谢菲 孙恩齐
申请人
蔡丹儿
申请人地址
515000 广东省汕头市金平区海安街道南海横路11号海悦花园2幢307房
IPC主分类号
B24B5/50
IPC分类号
B24B5/04 B24B5/35 B24B41/06 B24B55/06 B24B55/00
代理机构
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共 50 条
[1]
一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置 [P]. 
刘春芳 ;
谢菲 ;
孙恩齐 .
中国专利 :CN120134111A ,2025-06-13
[2]
一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置 [P]. 
刘春芳 ;
谢菲 ;
孙恩齐 .
中国专利 :CN120862481A ,2025-10-31
[3]
一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN212351357U ,2021-01-15
[4]
一种半导体生产用硅晶圆柱加工设备 [P]. 
刘英帅 .
中国专利 :CN215510588U ,2022-01-14
[5]
一种再生晶圆半导体生产用冷却装置 [P]. 
顾骏 .
中国专利 :CN111599714A ,2020-08-28
[6]
一种半导体生产用硅晶片平洗装置 [P]. 
刘丽 .
中国专利 :CN118577562B ,2025-07-25
[7]
一种半导体生产用硅晶片平洗装置 [P]. 
刘丽 .
中国专利 :CN118577562A ,2024-09-03
[8]
一种半导体生产用晶圆智能生产设备 [P]. 
黄梦珠 .
中国专利 :CN115513110A ,2022-12-23
[9]
一种半导体生产用晶圆智能生产设备 [P]. 
廖齐文 ;
王青英 ;
廖路娜 .
中国专利 :CN117620805A ,2024-03-01
[10]
半导体生产用硅晶片平洗装置 [P]. 
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN119870040A ,2025-04-25