一种晶圆位置矫正装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520232274.7

申请日：

2025-02-13

公开(公告)号：

CN223582977U

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

刘芳妍唐国军王智权赫国兰

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆位置矫正装置 [P].

梁倪萍 ;

李垚 ;

陈伏宏 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208444814U ,2019-01-29

[2]

一种晶圆位置矫正装置 [P].

安彦喜 ;

苏小鹏 ;

张泽辉 .

中国专利 :CN220821517U ,2024-04-19

[3]

一种晶圆矫正装置 [P].

杨皓翔 ;

汪东 .

中国专利 :CN216749835U ,2022-06-14

[4]

一种晶圆位置矫正装置及方法 [P].

张永盛 .

中国专利 :CN119864306A ,2025-04-22

[5]

一种双臂式晶圆位置矫正设备 [P].

张磊 ;

朱伟明 .

中国专利 :CN222775294U ,2025-04-18

[6]

一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置 [P].

张荣彬 ;

陈信 ;

于兴瑞 ;

蒙德强 ;

程怀璋 ;

潘世林 ;

王占滨 ;

梁鹏飞 .

中国专利 :CN223173553U ,2025-08-01

[7]

一种晶圆矫正装置及半导体设备 [P].

请求不公布姓名 ;

马钰辰 .

中国专利 :CN222562666U ,2025-03-04

[8]

矫正治具和晶圆抓手安装矫正装置 [P].

吴六一 ;

何正鸿 ;

高滢滢 ;

李永帅 ;

罗蓉 .

中国专利 :CN220698803U ,2024-04-02

[9]

一种晶圆位置探测装置 [P].

周亮 ;

方果 .

中国专利 :CN102299050A ,2011-12-28

[10]

一种晶圆位置保持装置 [P].

周益初 ;

卢利军 .

中国专利 :CN222801789U ,2025-04-25

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