晶圆位置矫正装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821286879.0

申请日：

2018-08-09

公开(公告)号：

CN208444814U

公开(公告)日：

2019-01-29

发明(设计)人：

梁倪萍李垚陈伏宏刘家桦叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2168 H01L21687

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆位置矫正装置 [P].

刘芳妍 ;

唐国军 ;

王智权 ;

赫国兰 .

中国专利 :CN223582977U ,2025-11-21

[2]

一种晶圆位置矫正装置 [P].

安彦喜 ;

苏小鹏 ;

张泽辉 .

中国专利 :CN220821517U ,2024-04-19

[3]

一种晶圆矫正装置 [P].

杨皓翔 ;

汪东 .

中国专利 :CN216749835U ,2022-06-14

[4]

一种晶圆位置矫正装置及方法 [P].

张永盛 .

中国专利 :CN119864306A ,2025-04-22

[5]

矫正治具和晶圆抓手安装矫正装置 [P].

吴六一 ;

何正鸿 ;

高滢滢 ;

李永帅 ;

罗蓉 .

中国专利 :CN220698803U ,2024-04-02

[6]

晶圆位置检测装置 [P].

朱兵 .

中国专利 :CN220856495U ,2024-04-26

[7]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[8]

一种双臂式晶圆位置矫正设备 [P].

张磊 ;

朱伟明 .

中国专利 :CN222775294U ,2025-04-18

[9]

一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置 [P].

张荣彬 ;

陈信 ;

于兴瑞 ;

蒙德强 ;

程怀璋 ;

潘世林 ;

王占滨 ;

梁鹏飞 .

中国专利 :CN223173553U ,2025-08-01

[10]

晶圆位置调整装置 [P].

丁洋 ;

崔亚东 ;

王永昌 ;

陈章晏 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209496850U ,2019-10-15

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