反应器及半导体废气处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510651836.6

申请日：

2025-05-20

公开(公告)号：

CN120789881A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

乔伟超席涛涛张昱翀宁腾飞

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座

IPC主分类号：

B01D53/74

IPC分类号：

B01D53/00 B01D53/26 B01J19/00 B01D47/02

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

夏文广

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 53/74申请日:20250520
2025-10-17	公开	公开

共 50 条

[1]

反应装置及半导体废气处理系统 [P].

王松 .

中国专利 :CN115212820B ,2024-05-03

[2]

废气处理装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN222076285U ,2024-11-29

[3]

废气处理反应装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN115350577A ,2022-11-18

[4]

废气处理反应装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN115350577B ,2024-02-02

[5]

一种管道反应器、工艺废气处理系统及方法 [P].

请求不公布姓名 ;

王福清 ;

陈佳明 .

中国专利 :CN118371101A ,2024-07-23

[6]

一种管道反应器、工艺废气处理系统及方法 [P].

请求不公布姓名 ;

王福清 ;

陈佳明 .

中国专利 :CN118371101B ,2025-01-10

[7]

半导体废气处理系统及半导体废气处理系统的控制方法 [P].

杨春涛 .

中国专利 :CN118623326A ,2024-09-10

[8]

一种半导体废气处理装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN116159403B ,2025-02-21

[9]

半导体废气处理系统 [P].

宁腾飞 ;

李轩 .

中国专利 :CN115487625A ,2022-12-20

[10]

半导体工业废气处理方法及系统 [P].

于贺杰 ;

曹小康 ;

张坤 ;

席涛涛 ;

蔡传涛 ;

宁腾飞 ;

杨琪 .

中国专利 :CN121222235A ,2025-12-30

← 1 2 3 4 5 →