一种异型金属薄膜光刻工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311470893.1
申请日
2023-11-07
公开(公告)号
CN117512509B
公开(公告)日
2025-10-24
发明(设计)人
周东平 张鑫
申请人
镇江晶鼎光电科技有限公司
申请人地址
212000 江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼
IPC主分类号
C23C14/04
IPC分类号
C23C14/34 C23C14/18 B05D1/02
代理机构
江苏德耀知识产权代理有限公司 32583
代理人
马英
法律状态
公开
国省代码
江苏省 镇江市
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共 50 条
[1]
一种异型金属薄膜光刻工艺 [P]. 
周东平 ;
张鑫 .
中国专利 :CN117512509A ,2024-02-06
[2]
一种光刻胶、制备方法及其光刻工艺 [P]. 
孙逊运 ;
谢桂兰 ;
孙敏 ;
吴淑财 ;
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[3]
光刻工艺 [P]. 
李永尧 ;
王盈盈 ;
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[4]
一种渐隐式光刻工艺 [P]. 
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[5]
一种用于厚金属的光刻工艺 [P]. 
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[8]
光刻工艺方法 [P]. 
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[9]
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[10]
光刻工艺方法 [P]. 
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