一种硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422996288.4

申请日：

2024-12-05

公开(公告)号：

CN223571486U

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

王海君廖宇冉邵奇赵智超杨林发

申请人：

麦斯克电子材料股份有限公司

申请人地址：

471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区

IPC主分类号：

B08B3/04

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/677 B08B13/00

代理机构：

洛阳九创知识产权代理事务所(普通合伙) 41156

代理人：

张龙

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗装置 [P].

吕海强 ;

郑安 ;

黄杨康 .

中国专利 :CN208245285U ,2018-12-18

[2]

一种硅片盒清洗装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN210386880U ,2020-04-24

[3]

硅片清洗装置 [P].

李兆颖 ;

周来平 ;

孟洁 .

中国专利 :CN217544554U ,2022-10-04

[4]

一种硅片清洗用的吊篮转运装置 [P].

王海君 ;

王继国 ;

胡晓亮 ;

廖宇冉 .

中国专利 :CN223409205U ,2025-10-03

[5]

一种硅片清洗装置 [P].

山世清 ;

黎弈夆 .

中国专利 :CN208944685U ,2019-06-07

[6]

一种硅片清洗装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN211980580U ,2020-11-20

[7]

一种硅片清洗装置 [P].

刘燕玲 ;

李锦涛 .

中国专利 :CN218049215U ,2022-12-16

[8]

硅片清洗装置 [P].

姬丹丹 ;

张豹 ;

王锐廷 ;

吴仪 .

中国专利 :CN204216011U ,2015-03-18

[9]

硅片清洗装置 [P].

张杰 ;

陆继波 ;

邹珉 ;

袁为进 .

中国专利 :CN222440545U ,2025-02-07

[10]

硅片清洗装置 [P].

吕海强 ;

郑安 ;

黄杨康 .

中国专利 :CN208195042U ,2018-12-07

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