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一种涂胶显影机的晶圆定位装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202423120284.6
申请日：
2024-12-18
公开(公告)号：
CN223486355U
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
周修斌 安礼余
申请人：
宇弘研科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼
IPC主分类号：
G03F7/16
IPC分类号：
G03F7/30
代理机构：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268
代理人：
严明
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-28 授权 授权
共 50 条
[1]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
姚舜捷 .
中国专利 :CN209543039U ,2019-10-25
[2]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
马亮 .
中国专利 :CN215069914U ,2021-12-07
[3]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067A ,2024-11-12
[4]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067B ,2025-01-03
[5]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
刘英 .
中国专利 :CN120421189B ,2025-09-12
[6]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078A ,2025-07-01
[7]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078B ,2025-10-28
[8]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
刘英 .
中国专利 :CN120421189A ,2025-08-05
[9]
一种涂胶显影机晶圆检测定位装置 [P]. 
张军区 ;
叶挺 .
中国专利 :CN220821493U ,2024-04-19
[10]
一种涂胶显影机晶圆高精度定位装置 [P]. 
田英干 .
中国专利 :CN211857175U ,2020-11-03
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