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一种涂胶显影机晶圆定位装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510494589.3
申请日：
2025-04-21
公开(公告)号：
CN120237078B
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
周修斌
安礼余
申请人：
宇弘研科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
G03F7/30
G03F7/16
H01L21/687
H01L21/67
代理机构：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268
代理人：
周玉娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20250421 |
| 2025-07-01 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-28 | 授权 | 授权 |