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一种涂胶显影机晶圆定位装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510932966.7
申请日：
2025-07-08
公开(公告)号：
CN120421189B
公开(公告)日：
2025-09-12
发明(设计)人：
刘英
申请人：
玮晶科技（泰州）有限公司
申请人地址：
225700 江苏省泰州市兴化市经济开发区昭阳工业园昭阳西路301号
IPC主分类号：
B05C13/02
IPC分类号：
H01L21/68 G03F7/16 G03F7/26 B05C11/08 B05C5/02
代理机构：
南京科擎知识产权代理事务所(普通合伙) 32644
代理人：
谈家彬
法律状态：
授权
国省代码：
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-12 授权 授权
2025-08-05 公开 公开
2025-08-22 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B05C 13/02申请日:20250708
共 50 条
[1]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
刘英 .
中国专利 :CN120421189A ,2025-08-05
[2]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067A ,2024-11-12
[3]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
孙晓琦 ;
徐龙 ;
颜石 .
中国专利 :CN118943067B ,2025-01-03
[4]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
姚舜捷 .
中国专利 :CN209543039U ,2019-10-25
[5]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
马亮 .
中国专利 :CN215069914U ,2021-12-07
[6]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078A ,2025-07-01
[7]
一种涂胶显影机晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN120237078B ,2025-10-28
[8]
一种涂胶显影机的晶圆定位装置 [P]. 
周修斌 ;
安礼余 .
中国专利 :CN223486355U ,2025-10-28
[9]
一种涂胶显影机晶圆检测定位装置 [P]. 
张军区 ;
叶挺 .
中国专利 :CN220821493U ,2024-04-19
[10]
涂胶显影机用晶圆升降装置及涂胶显影机 [P]. 
文龙虎 .
中国专利 :CN115483143A ,2022-12-16
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