具有热回收功能的碳化硅外延设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511165766.X

申请日：

2025-08-20

公开(公告)号：

CN120666441B

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

刘永明黄小辉

申请人：

蓝河科技（绍兴）有限公司

申请人地址：

311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼

IPC主分类号：

C30B29/36

IPC分类号：

C30B23/00

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/36申请日:20250820
2025-10-28	授权	授权
2025-09-19	公开	公开

共 50 条

[1]

具有热回收功能的碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

黄小辉 .

中国专利 :CN120666441A ,2025-09-19

[2]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150A ,2025-09-16

[3]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150B ,2025-10-28

[4]

碳化硅外延设备 [P].

杨龙 ;

吴会旺 ;

李召永 ;

白春杰 ;

李伟峰 ;

张国良 ;

袁肇耿 ;

薛宏伟 .

中国专利 :CN216514256U ,2022-05-13

[5]

碳化硅外延设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

吴正闪 ;

朱亮 ;

曹建伟 .

中国专利 :CN221480160U ,2024-08-06

[6]

碳化硅外延设备及碳化硅外延层制备方法 [P].

刘兴昉 ;

杨尚宇 ;

闫果果 ;

王雷 ;

赵万顺 ;

孙国胜 ;

曾一平 .

中国专利 :CN115852490B ,2025-08-29

[7]

用于碳化硅外延设备的石墨快拆装置和碳化硅外延设备 [P].

卢勇 ;

蒲勇 ;

赵鹏 .

中国专利 :CN216473581U ,2022-05-10

[8]

碳化硅外延 [P].

P·阔德 .

中国专利 :CN103946953A ,2014-07-23

[9]

一种用于碳化硅外延设备的互锁模块及碳化硅外延设备 [P].

刘中良 ;

费戴扬 ;

向阳 .

中国专利 :CN221566372U ,2024-08-20

[10]

碳化硅外延 [P].

P·阔德 .

中国专利 :CN107452784A ,2017-12-08

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