一种蝶烯化合物组成的光刻胶及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210576179.X

申请日：

2022-05-24

公开(公告)号：

CN117148671B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

方书农王溯

申请人：

上海新阳半导体材料股份有限公司

申请人地址：

201616 上海市松江区思贤路3600号

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/00

代理机构：

上海弼兴律师事务所 31283

代理人：

马续红;陈卓

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种EUV金属光刻胶及其制备方法和应用 [P].

王溯 ;

方书农 .

中国专利 :CN117148670B ,2025-11-07

[2]

一种碱性化合物和光刻胶组合物及其制备方法和应用 [P].

李禾禾 ;

王静 ;

毛鸿超 ;

曾成财 ;

王雪枫 ;

宋里千 ;

安辉 ;

赵永红 .

中国专利 :CN121108136A ,2025-12-12

[3]

一种EUV光刻胶及其制备方法和应用 [P].

王溯 ;

方书农 .

中国专利 :CN117148669B ,2025-11-14

[4]

一种光刻胶单体化合物及其制备方法和应用 [P].

刘文昭 ;

付海超 ;

陈帅 ;

杨丽 ;

马乐 .

中国专利 :CN117362164A ,2024-01-09

[5]

基于二茂金属化合物的光刻胶及其制备方法和应用 [P].

杨国强 ;

玉佳婷 ;

陈龙 ;

王亚飞 ;

郭旭东 ;

胡睿 ;

王双青 .

中国专利 :CN112830944B ,2021-05-25

[6]

一种光刻胶组合物及其制备方法和应用 [P].

李禾禾 ;

毛鸿超 ;

王静 ;

曾成财 ;

王雪枫 ;

肖清凯 ;

郑可茹 ;

宋里千 ;

肖楠 .

中国专利 :CN119620543A ,2025-03-14

[7]

光刻胶组合物及其制备方法和应用 [P].

刘洪雷 ;

卢克军 ;

朴大然 ;

张腾 ;

胡凡华 ;

张宁 .

中国专利 :CN117826531A ,2024-04-05

[8]

一种正性光刻胶组合物及其制备方法和应用 [P].

霍建辉 ;

张兵 ;

向文胜 ;

赵建龙 ;

周浩杰 ;

李双庆 ;

袁会芳 .

中国专利 :CN121209205A ,2025-12-26

[9]

正性光刻胶组成物及其制备方法 [P].

杨洪 ;

赵晓芳 ;

郭玲香 ;

林保平 .

中国专利 :CN102402119A ,2012-04-04

[10]

一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶 [P].

张咪 ;

李冰 ;

刁翠梅 ;

于晓伟 ;

陈昕 ;

王文芳 ;

董栋 ;

张宁 .

中国专利 :CN113105330A ,2021-07-13

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