パターン製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20240062479
申请日
2024-04-09
公开(公告)号
JP2025159752A
公开(公告)日
2025-10-22
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/3065
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
スタンパ製造用原盤[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2011125099A1 ,2013-07-08
[2]
スパッタリングターゲットの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017115648A1 ,2017-12-28
[9]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2010101051A1 ,2012-09-06
[10]
スパッタリングターゲット及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2004079036A1 ,2006-06-08