应力解耦的微机械压力传感器和制造压力传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480026350.7

申请日：

2024-03-11

公开(公告)号：

CN120981708A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

H·韦伯 S·马赫 P·施莫尔林格鲁贝尔 F·罗尔夫林

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

G01L9/00

IPC分类号：

G01L19/14

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

微机械压力传感器和用于制造微机械压力传感器的方法 [P].

F·韦尔克 ;

C·于芬格 ;

D·S·波德别尔 .

德国专利 :CN117664430A ,2024-03-08

[2]

用于制造应力解耦的微机械压力传感器的方法 [P].

T·克拉默 ;

T·弗里德里希 ;

A·丹嫩贝格 ;

J·弗里茨 .

中国专利 :CN109803917A ,2019-05-24

[3]

微机械压力传感器装置的制造方法和相应的微机械压力传感器装置 [P].

武震宇 .

中国专利 :CN106986301B ,2017-07-28

[4]

微机械压力传感器以及用于制造微机械压力传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

T·亨 .

中国专利 :CN110476047A ,2019-11-19

[5]

微机械压力传感器组件和用于制造微机械压力传感器组件的方法 [P].

M·克瑙斯 ;

R·屈尔斯 ;

U·席勒 ;

L·绍丹 ;

S·舒勒-瓦特金斯 ;

D·豪格 .

中国专利 :CN111033204A ,2020-04-17

[6]

微机械压力传感器 [P].

V·森兹 ;

R·毛尔 ;

T·德盖伊 ;

T·弗里德里希 ;

A·丹嫩贝格 ;

F·卢卡奇 ;

H·格鲁茨埃克 ;

F·霍伊克 ;

M·施瓦茨 .

中国专利 :CN110383027A ,2019-10-25

[7]

微机械压力传感器 [P].

F·格拉巴迈尔 ;

E·舍尔克斯 ;

T·林德曼 .

中国专利 :CN107032296B ,2017-08-11

[8]

微机械的压力传感器 [P].

C.舍林 ;

R.哈斯 .

中国专利 :CN104204755B ,2014-12-10

[9]

微机械压力传感器设备和相应的制造方法 [P].

P·施莫尔林格鲁贝尔 ;

H·韦伯 .

中国专利 :CN112384779A ,2021-02-19

[10]

压力传感器和压力传感器的制造方法 [P].

丰岛良一 .

中国专利 :CN110709680B ,2020-01-17

← 1 2 3 4 5 →