光刻胶烘烤箱

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423222585.X

申请日：

2024-12-25

公开(公告)号：

CN223513437U

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

何正鸿韩新田旭王立钢

申请人：

甬矽半导体（宁波）有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园滨海大道60号

IPC主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

H05B3/02 H05B3/06

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

张洋

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293B ,2025-04-29

[2]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293A ,2021-11-26

[3]

一种光刻胶烘烤装置 [P].

张怀宣 .

中国专利 :CN221039792U ,2024-05-28

[4]

一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘 [P].

周小琳 .

中国专利 :CN217289132U ,2022-08-26

[5]

光刻胶烘箱 [P].

徐敏洙 .

中国专利 :CN214704309U ,2021-11-12

[6]

光刻胶桶 [P].

崔相玉 ;

魏明德 ;

金惠东 ;

金度亨 .

中国专利 :CN204323945U ,2015-05-13

[7]

光刻胶容器 [P].

袁伟 .

中国专利 :CN202423237U ,2012-09-05

[8]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[9]

饶夙缔 ;

陈孝贤 .

中国专利 :CN110174819B ,2019-08-27

[10]

光刻胶喷涂装置和光刻胶喷涂系统 [P].

陈宁 ;

刘兴东 .

中国专利 :CN203275872U ,2013-11-06

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