光刻胶剂烘烤设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110528811.9

申请日：

2021-05-14

公开(公告)号：

CN113703293B

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

陈柏宏陈裕凯

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市

IPC主分类号：

G03F7/38

IPC分类号：

G03F7/40

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

聂慧荃;闫华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293A ,2021-11-26

[2]

光刻胶烘烤设备及其自动清洁方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

丁明正 .

中国专利 :CN112015051A ,2020-12-01

[3]

光刻胶烘烤箱 [P].

何正鸿 ;

韩新 ;

田旭 ;

王立钢 .

中国专利 :CN223513437U ,2025-11-04

[4]

光刻胶设备 [P].

郭宏瑞 ;

余振华 ;

陆德源 ;

李明潭 .

中国专利 :CN111123663A ,2020-05-08

[5]

一种光刻胶硬烘烤设备 [P].

娄大彬 .

中国专利 :CN215141733U ,2021-12-14

[6]

一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法 [P].

孙彬 ;

凌坚 .

中国专利 :CN110133969A ,2019-08-16

[7]

一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法 [P].

孙彬 ;

凌坚 .

中国专利 :CN110133969B ,2024-08-30

[8]

光刻胶剥离剂 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104049476A ,2014-09-17

[9]

光刻胶添加剂及光刻胶组合物 [P].

李青松 ;

刘永祥 ;

杨鹏 ;

韩红彦 ;

焦成成 .

中国专利 :CN119591780A ,2025-03-11

[10]

光刻胶去除设备及光刻胶去除方法 [P].

邢程 ;

朱振华 .

中国专利 :CN113687575A ,2021-11-23

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