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一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910345715.3
申请日：
2019-04-26
公开(公告)号：
CN110133969A
公开(公告)日：
2019-08-16
发明(设计)人：
孙彬
凌坚
申请人：
申请人地址：
361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区建港路29号海沧国际物流大厦
IPC主分类号：
G03F740
IPC分类号：
F26B2500
F26B2300
F26B906
代理机构：
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280
代理人：
李庆波
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-16 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/40 申请日:20190426 |