光刻胶烘烤设备及其自动清洁方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010702044.4

申请日：

2020-07-21

公开(公告)号：

CN112015051A

公开(公告)日：

2020-12-01

发明(设计)人：

金在植张成根林锺吉贺晓彬刘强刘金彪丁明正

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

何家鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-01	公开	公开
2020-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20200721

共 50 条

[1]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293B ,2025-04-29

[2]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293A ,2021-11-26

[3]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[4]

一种光刻胶烘烤装置 [P].

张怀宣 .

中国专利 :CN221039792U ,2024-05-28

[5]

光刻胶及光刻方法 [P].

袁华 ;

黄永发 ;

杨尚勇 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110501873A ,2019-11-26

[6]

光刻胶烘烤箱 [P].

何正鸿 ;

韩新 ;

田旭 ;

王立钢 .

中国专利 :CN223513437U ,2025-11-04

[7]

光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P].

邱靖尧 ;

谢玟茜 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17

[8]

光刻胶设备 [P].

郭宏瑞 ;

余振华 ;

陆德源 ;

李明潭 .

中国专利 :CN111123663A ,2020-05-08

[9]

一种光刻胶硬烘烤设备 [P].

娄大彬 .

中国专利 :CN215141733U ,2021-12-14

[10]

光刻胶涂布装置 [P].

李明欣 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20

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