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一种光刻胶硬烘烤设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202120085933.0
申请日
:
2021-01-13
公开(公告)号
:
CN215141733U
公开(公告)日
:
2021-12-14
发明(设计)人
:
娄大彬
申请人
:
申请人地址
:
311100 浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路20号3幢
IPC主分类号
:
B05D302
IPC分类号
:
B05D304
代理机构
:
浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477
代理人
:
王美芳
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-14
授权
授权
共 50 条
[1]
光刻胶剂烘烤设备
[P].
陈柏宏
论文数:
0
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0
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机构:
台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
陈柏宏
;
陈裕凯
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机构:
台湾积体电路制造股份有限公司
台湾积体电路制造股份有限公司
陈裕凯
.
中国专利
:CN113703293B
,2025-04-29
[2]
光刻胶剂烘烤设备
[P].
陈柏宏
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陈柏宏
;
陈裕凯
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陈裕凯
.
中国专利
:CN113703293A
,2021-11-26
[3]
光刻胶烘烤箱
[P].
何正鸿
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机构:
甬矽半导体(宁波)有限公司
甬矽半导体(宁波)有限公司
何正鸿
;
韩新
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机构:
甬矽半导体(宁波)有限公司
甬矽半导体(宁波)有限公司
韩新
;
田旭
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机构:
甬矽半导体(宁波)有限公司
甬矽半导体(宁波)有限公司
田旭
;
王立钢
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机构:
甬矽半导体(宁波)有限公司
甬矽半导体(宁波)有限公司
王立钢
.
中国专利
:CN223513437U
,2025-11-04
[4]
一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法
[P].
孙彬
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孙彬
;
凌坚
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凌坚
.
中国专利
:CN110133969A
,2019-08-16
[5]
一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法
[P].
孙彬
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机构:
厦门通富微电子有限公司
厦门通富微电子有限公司
孙彬
;
凌坚
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机构:
厦门通富微电子有限公司
厦门通富微电子有限公司
凌坚
.
中国专利
:CN110133969B
,2024-08-30
[6]
光刻胶设备
[P].
郭宏瑞
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郭宏瑞
;
余振华
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余振华
;
陆德源
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陆德源
;
李明潭
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李明潭
.
中国专利
:CN111123663A
,2020-05-08
[7]
一种光刻胶烘烤装置
[P].
张怀宣
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机构:
上海众鸿半导体设备有限公司
上海众鸿半导体设备有限公司
张怀宣
.
中国专利
:CN221039792U
,2024-05-28
[8]
光刻胶烘烤设备及其自动清洁方法
[P].
金在植
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金在植
;
张成根
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张成根
;
林锺吉
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林锺吉
;
贺晓彬
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贺晓彬
;
刘强
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刘强
;
刘金彪
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刘金彪
;
丁明正
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丁明正
.
中国专利
:CN112015051A
,2020-12-01
[9]
一种用于显影后的光刻胶加固热烘烤设备
[P].
许海明
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许海明
.
中国专利
:CN111025863A
,2020-04-17
[10]
工艺处理室以及光刻胶烘烤方法
[P].
李祥华
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李祥华
;
刘智龙
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刘智龙
;
林锺吉
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林锺吉
;
张成根
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张成根
;
丁明正
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丁明正
;
刘强
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刘强
;
贺晓彬
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贺晓彬
;
王长江
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王长江
.
中国专利
:CN114442434A
,2022-05-06
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