一种光刻胶硬烘烤设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120085933.0
申请日
2021-01-13
公开(公告)号
CN215141733U
公开(公告)日
2021-12-14
发明(设计)人
娄大彬
申请人
申请人地址
311100 浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路20号3幢
IPC主分类号
B05D302
IPC分类号
B05D304
代理机构
浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477
代理人
王美芳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻胶剂烘烤设备 [P]. 
陈柏宏 ;
陈裕凯 .
中国专利 :CN113703293B ,2025-04-29
[2]
光刻胶剂烘烤设备 [P]. 
陈柏宏 ;
陈裕凯 .
中国专利 :CN113703293A ,2021-11-26
[3]
光刻胶烘烤箱 [P]. 
何正鸿 ;
韩新 ;
田旭 ;
王立钢 .
中国专利 :CN223513437U ,2025-11-04
[4]
一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法 [P]. 
孙彬 ;
凌坚 .
中国专利 :CN110133969A ,2019-08-16
[5]
一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法 [P]. 
孙彬 ;
凌坚 .
中国专利 :CN110133969B ,2024-08-30
[6]
光刻胶设备 [P]. 
郭宏瑞 ;
余振华 ;
陆德源 ;
李明潭 .
中国专利 :CN111123663A ,2020-05-08
[7]
一种光刻胶烘烤装置 [P]. 
张怀宣 .
中国专利 :CN221039792U ,2024-05-28
[8]
光刻胶烘烤设备及其自动清洁方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
刘金彪 ;
丁明正 .
中国专利 :CN112015051A ,2020-12-01
[9]
一种用于显影后的光刻胶加固热烘烤设备 [P]. 
许海明 .
中国专利 :CN111025863A ,2020-04-17
[10]
工艺处理室以及光刻胶烘烤方法 [P]. 
李祥华 ;
刘智龙 ;
林锺吉 ;
张成根 ;
丁明正 ;
刘强 ;
贺晓彬 ;
王长江 .
中国专利 :CN114442434A ,2022-05-06