工艺处理室以及光刻胶烘烤方法

被引：0

申请号：

CN202011223625.6

申请日：

2020-11-05

公开(公告)号：

CN114442434A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

李祥华刘智龙林锺吉张成根丁明正刘强贺晓彬王长江

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京辰权知识产权代理有限公司 11619

代理人：

金铭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20201105
2022-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻胶烘烤箱 [P].

何正鸿 ;

韩新 ;

田旭 ;

王立钢 .

中国专利 :CN223513437U ,2025-11-04

[2]

光刻胶去除方法以及光刻胶去除系统 [P].

赵仲平 ;

张文龙 ;

戴茂春 ;

淮赛男 ;

周宇 .

中国专利 :CN113721430B ,2021-11-30

[3]

光刻胶去除方法 [P].

南兑浩 ;

李大烨 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

刘金彪 ;

周娜 .

中国专利 :CN114764219A ,2022-07-19

[4]

光刻胶处理方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN108107673A ,2018-06-01

[5]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293B ,2025-04-29

[6]

光刻胶剂烘烤设备 [P].

陈柏宏 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN113703293A ,2021-11-26

[7]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187A ,2020-11-06

[8]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187B ,2024-04-16

[9]

正性光刻胶、光刻胶层及其制备方法、光刻工艺 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN114460810A ,2022-05-10

[10]

一种光刻胶、光刻胶应用以及应用工艺 [P].

丁德锐 ;

杨艳 ;

伍佩铭 .

中国专利 :CN117572722A ,2024-02-20

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