加熱装置および加熱プレート[ja]

被引:0
申请号
JP20250113982
申请日
2025-07-04
公开(公告)号
JP2025148412A
公开(公告)日
2025-10-07
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
F27D11/02
IPC分类号
F27D7/02 H05B3/20
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 15 条
[1]
加熱装置および加熱プレート[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2020100347A1 ,2021-10-21
[2]
加熱装置[ja] [P]. 
RI IRIN ;
YAMANAKA MASAHITO .
日本专利 :JP2024020360A ,2024-02-14
[3]
基板加熱装置および半導体装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025532130A ,2025-09-29
[7]
高温ヒートプレートペデスタル[ja] [P]. 
日本专利 :JP2020526012A ,2020-08-27
[10]
極めて均一性が高い加熱基板支持アセンブリ[ja] [P]. 
DAVID BENJAMINSON ;
VIJAY D PARKHE ;
ONKARA SWAMY KORA SIDDARAMAIAH ;
KIRBY H FLOYD ;
JUSTIN WANG ;
MEHMET TUGRUL SAMIR ;
DMITRY LUBOMIRSKY .
日本专利 :JP2022020732A ,2022-02-01