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加熱装置および加熱プレート[ja]
被引:0
申请号
:
JP20250113982
申请日
:
2025-07-04
公开(公告)号
:
JP2025148412A
公开(公告)日
:
2025-10-07
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
F27D11/02
IPC分类号
:
F27D7/02
H05B3/20
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 15 条
[1]
加熱装置および加熱プレート[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2020100347A1
,2021-10-21
[2]
加熱装置[ja]
[P].
RI IRIN
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
KYUSHU NISSHO CO LTD
KYUSHU NISSHO CO LTD
RI IRIN
;
YAMANAKA MASAHITO
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
KYUSHU NISSHO CO LTD
KYUSHU NISSHO CO LTD
YAMANAKA MASAHITO
.
日本专利
:JP2024020360A
,2024-02-14
[3]
基板加熱装置および半導体装置[ja]
[P].
日本专利
:JP2025532130A
,2025-09-29
[4]
半導体基板加熱装置、半導体装置および温度制御方法[ja]
[P].
日本专利
:JP2025520231A
,2025-07-03
[5]
加熱体およびマルチ領域温度制御が可能な真空焼結炉[ja]
[P].
日本专利
:JP2020521268A
,2020-07-16
[6]
加熱体およびマルチ領域温度制御が可能な真空焼結炉[ja]
[P].
日本专利
:JP3232568U
,2021-06-24
[7]
高温ヒートプレートペデスタル[ja]
[P].
日本专利
:JP2020526012A
,2020-08-27
[8]
相変化材料による熱管理および空気による熱管理を組み合わせた階段式の電池熱管理システム[ja]
[P].
日本专利
:JP2019510346A
,2019-04-11
[9]
温度均一性を提供するための熱循環装置および方法[ja]
[P].
日本专利
:JP7152181B2
,2022-10-12
[10]
極めて均一性が高い加熱基板支持アセンブリ[ja]
[P].
DAVID BENJAMINSON
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
DAVID BENJAMINSON
;
VIJAY D PARKHE
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
VIJAY D PARKHE
;
ONKARA SWAMY KORA SIDDARAMAIAH
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
ONKARA SWAMY KORA SIDDARAMAIAH
;
KIRBY H FLOYD
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
KIRBY H FLOYD
;
JUSTIN WANG
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
JUSTIN WANG
;
MEHMET TUGRUL SAMIR
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
MEHMET TUGRUL SAMIR
;
DMITRY LUBOMIRSKY
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
APPLIED MATERIALS INC
DMITRY LUBOMIRSKY
.
日本专利
:JP2022020732A
,2022-02-01
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