晶圆偏移量检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211520140.2

申请日：

2022-11-30

公开(公告)号：

CN115763317B

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

吴天尧彭雪亮陈兴隆苗涛

申请人：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/687

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

吴浩

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

腕臂偏移量检测方法、检测装置 [P].

谢秋里 ;

张俊 ;

杜博文 ;

张立涛 ;

李亚辉 ;

王敬渊 ;

吕向阳 ;

田霆 ;

樊卫民 ;

付添行 ;

李烈龙 .

中国专利 :CN112710241A ,2021-04-27

[2]

减振器油封的失效偏移量检测设备和失效偏移量检测方法 [P].

陈佳佳 ;

董子桥 .

中国专利 :CN118794679A ,2024-10-18

[3]

减振器油封的失效偏移量检测设备和失效偏移量检测方法 [P].

陈佳佳 ;

董子桥 .

中国专利 :CN118794679B ,2024-12-31

[4]

检测质块偏移量补偿 [P].

M·汤普森 .

美国专利 :CN111512118B ,2024-05-28

[5]

检测质块偏移量补偿 [P].

M·汤普森 .

中国专利 :CN111512118A ,2020-08-07

[6]

获取晶圆偏移量的方法及晶圆测量前机械手点位示教方法 [P].

黎雪峰 ;

何晓宇 ;

尹陈林 .

中国专利 :CN119764204A ,2025-04-04

[7]

电梯导轨偏移量检测装置 [P].

郑晓峰 .

中国专利 :CN209263903U ,2019-08-16

[8]

腕臂偏移量检测装置 [P].

谢秋里 ;

张俊 ;

杜博文 ;

张立涛 ;

李亚辉 ;

王敬渊 ;

吕向阳 ;

田霆 ;

樊卫民 ;

付添行 ;

李烈龙 .

中国专利 :CN214149153U ,2021-09-07

[9]

带钢偏移量的检测方法和装置 [P].

李振垒 ;

袁国 ;

张元祥 ;

康健 ;

高峰 ;

张晓明 ;

王黎筠 ;

王国栋 .

中国专利 :CN111915586A ,2020-11-10

[10]

对准检测装置及对准偏移量的检测方法 [P].

钟博钦 ;

钟万河 ;

陈建仲 .

中国专利 :CN100406846C ,2006-10-11

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