获取晶圆偏移量的方法及晶圆测量前机械手点位示教方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411929754.5

申请日：

2024-12-26

公开(公告)号：

CN119764204A

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

黎雪峰何晓宇尹陈林

申请人：

泰微科技（珠海）有限公司

申请人地址：

519000 广东省珠海市香洲区福田路10号厂房1一层-2、三层-2

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G06T7/00 G06T7/13 G06T7/11 G06T7/136 G06T7/70 G01B11/24 G01B11/26 G01B11/00 B25J9/22

代理机构：

广东非凡律师事务所 44700

代理人：

王昕

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

共 50 条

[1]

晶圆偏移量检测方法 [P].

吴天尧 ;

彭雪亮 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN115763317B ,2025-10-31

[2]

防止晶圆划伤的机械手及自动示教方法 [P].

谢世明 ;

石小瑜 ;

杨万超 .

中国专利 :CN121105013A ,2025-12-12

[3]

晶圆示教装置及示教方法 [P].

李莹莹 ;

马刚 .

中国专利 :CN112820686A ,2021-05-18

[4]

晶圆传输机械手、晶圆传输方法及装置 [P].

许刚 ;

马旭 ;

靳凯强 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119748319A ,2025-04-04

[5]

一种晶圆搬运机械手位置教具及其示教方法 [P].

王英 .

中国专利 :CN114188254A ,2022-03-15

[6]

机械手、晶圆减薄设备及晶圆清洗方法 [P].

许刚 ;

靳凯强 ;

慈荣广 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN120221494A ,2025-06-27

[7]

晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手 [P].

郑孝洋 ;

古国保 .

中国专利 :CN120862705A ,2025-10-31

[8]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727B ,2024-06-07

[9]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727A ,2024-04-16

[10]

用于抓取晶圆的机械手、晶圆载体盒及晶圆处理系统 [P].

高帅 ;

李大川 .

中国专利 :CN223612369U ,2025-11-28

← 1 2 3 4 5 →

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	公开	公开
2025-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241226