晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511385511.4

申请日：

2025-09-26

公开(公告)号：

CN120862705A

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

郑孝洋古国保

申请人：

深圳市正运动技术有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区航城街道鹤洲社区鹤洲南片工业区2-3号阳光工业园A1栋三层四层五层

IPC主分类号：

B25J9/16

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542

代理人：

杨昌

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	公开	公开
2025-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B25J 9/16申请日:20250926

共 50 条

[1]

晶圆夹持机械手 [P].

刘洋 ;

古市昌稔 ;

曲泉铀 .

中国专利 :CN215942934U ,2022-03-04

[2]

晶圆机械手 [P].

李曾元 ;

朱桐桐 ;

周飞 ;

仰庶 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN119890105A ,2025-04-25

[3]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226A ,2024-01-16

[4]

晶圆搬运机械手 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 ;

胡灿辉 .

中国专利 :CN218255164U ,2023-01-10

[5]

晶圆搬运机械手 [P].

武辉军 ;

王启林 ;

何豪文 ;

林猷强 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN117410226B ,2024-08-06

[6]

晶圆搬运机械手 [P].

韩良华 .

中国专利 :CN204271064U ,2015-04-15

[7]

晶圆机械手以及晶圆输送设备 [P].

黎佐兴 ;

杨福满 ;

杨洪生 ;

朱新华 ;

张晓军 .

中国专利 :CN223167471U ,2025-07-29

[8]

晶圆夹持旋转机械手 [P].

刘洋 ;

古市昌稔 ;

曲泉铀 .

中国专利 :CN113103252A ,2021-07-13

[9]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727B ,2024-06-07

[10]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727A ,2024-04-16

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