一种镀膜基板装载架及镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111553533.9

申请日：

2021-12-17

公开(公告)号：

CN116265603B

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

戴晓东马淑莹

申请人：

光驰科技（上海）有限公司

申请人地址：

200436 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267，297号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/35

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王亚琼

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-07	授权	授权

共 50 条

[1]

基板装载架及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN221895112U ,2024-10-25

[2]

基板装载架及真空镀膜设备 [P].

谭立 ;

余海春 ;

戴晓东 ;

吴凯 .

中国专利 :CN120625006A ,2025-09-12

[3]

镀膜基板及镀膜设备 [P].

张尚明 .

中国专利 :CN202423273U ,2012-09-05

[4]

镀膜室及镀膜设备 [P].

裴蓓 ;

吕启蒙 ;

余龙 ;

曹永军 .

中国专利 :CN220827454U ,2024-04-23

[5]

镀膜室及镀膜设备 [P].

裴蓓 ;

吕启蒙 ;

余龙 ;

曹永军 .

中国专利 :CN220827453U ,2024-04-23

[6]

基板镀膜设备及其镀膜方法 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN120384280A ,2025-07-29

[7]

一种双面镀膜设备及镀膜方法 [P].

朱振华 ;

王明久 ;

卢鹏 ;

马淑莹 ;

余海春 .

中国专利 :CN119571255A ,2025-03-07

[8]

一种镀膜基片架及真空镀膜设备 [P].

董清世 ;

邵世强 ;

李晓东 ;

韦珂珂 .

中国专利 :CN205205223U ,2016-05-04

[9]

一种镀膜基片架及真空镀膜设备 [P].

董清世 ;

邵世强 ;

李晓东 ;

韦珂珂 .

中国专利 :CN105316641B ,2016-02-10

[10]

一种镀膜转架及镀膜设备 [P].

张广义 ;

林雪宜 ;

豆卫卫 .

中国专利 :CN223688430U ,2025-12-19

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