清洗装置、晶圆处理设备及其清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210373214.8

申请日：

2022-04-11

公开(公告)号：

CN116921374B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

陶剑峰蒋国彪杨哲闵王建忠

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

B08B11/00

IPC分类号：

B08B3/02 B08B13/00 B08B15/04 F26B21/00 H01L21/67

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112233996A ,2021-01-15

[2]

晶圆清洗装置和晶圆处理设备 [P].

曹自立 ;

王科 ;

周静 ;

李灯 ;

李长坤 .

中国专利 :CN119812046A ,2025-04-11

[3]

晶圆清洗装置及其晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

张文福 ;

叶日铨 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN109065475A ,2018-12-21

[4]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

董鹏 .

中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23

[6]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[7]

晶圆清洗装置、晶圆清洗刷清洗装置和半导体工艺设备 [P].

郭子杨 ;

李苗苗 .

中国专利 :CN220710260U ,2024-04-02

[8]

晶圆清洗装置及其清洗方法 [P].

董学儒 ;

蔡奉儒 .

中国专利 :CN111223791B ,2020-06-02

[9]

晶圆清洗装置及其清洗方法 [P].

杭明光 .

中国专利 :CN115312426A ,2022-11-08

[10]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

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