沟槽型MIM电容器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511029028.2

申请日：

2025-07-25

公开(公告)号：

CN120547884B

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

覃庆媛吴卓杰王岩丁文凤

申请人：

杭州积海半导体有限公司

申请人地址：

311225 浙江省杭州市钱塘新区义蓬街道江东大道3899号709-7号

IPC主分类号：

H10D1/68

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

宋艳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-26	公开	公开
2025-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10D 1/68申请日:20250725
2025-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

沟槽型MIM电容器及其制造方法 [P].

覃庆媛 ;

吴卓杰 ;

王岩 ;

丁文凤 .

中国专利 :CN120547884A ,2025-08-26

[2]

沟槽型MIM电容器及其制备方法 [P].

谢卫平 ;

张浩娜 ;

高云飞 ;

程刘锁 ;

张继亮 .

中国专利 :CN117878104A ,2024-04-12

[3]

MIM电容器及其制造方法 [P].

杨鸣鹤 ;

金子貴昭 ;

黄晓橹 .

中国专利 :CN109037445A ,2018-12-18

[4]

MIM电容器及其制造方法 [P].

程久庚 ;

曹启鹏 ;

程刘锁 .

中国专利 :CN121099619A ,2025-12-09

[5]

MIM电容器及其制造方法 [P].

肖德元 ;

季明华 ;

吴汉明 .

中国专利 :CN101989621B ,2011-03-23

[6]

MIM电容器及其制造方法 [P].

杨宏旭 ;

刘俊文 ;

牛忠彩 .

中国专利 :CN111653544A ,2020-09-11

[7]

MIM电容器及其制造方法 [P].

许丹 .

中国专利 :CN102299184A ,2011-12-28

[8]

MIM电容器及其制造方法 [P].

唐丽贤 ;

包小燕 ;

庄燕萍 ;

霍燕丽 ;

杜海 .

中国专利 :CN104465608A ,2015-03-25

[9]

MIM电容器及其形成方法 [P].

林杏莲 ;

金海光 ;

蔡正原 .

中国专利 :CN115020385A ,2022-09-06

[10]

MIM电容器及其形成方法 [P].

林杏莲 ;

金海光 ;

蔡正原 .

中国专利 :CN106972012A ,2017-07-21

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