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载板烘烤治具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202521690869.3
申请日：
2025-08-11
公开(公告)号：
CN223471592U
公开(公告)日：
2025-10-24
发明(设计)人：
祝国旗
刘楠
田凤起
申请人：
淄博芯材集成电路有限责任公司
申请人地址：
255035 山东省淄博市高新区齐祥路2670甲1号
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
代理机构：
青岛发思特专利商标代理有限公司 37212
代理人：
徐保梦
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-24 | 授权 | 授权 |