载板烘烤治具

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202521690869.3
申请日
2025-08-11
公开(公告)号
CN223471592U
公开(公告)日
2025-10-24
发明(设计)人
祝国旗 刘楠 田凤起
申请人
淄博芯材集成电路有限责任公司
申请人地址
255035 山东省淄博市高新区齐祥路2670甲1号
IPC主分类号
H01L21/687
IPC分类号
代理机构
青岛发思特专利商标代理有限公司 37212
代理人
徐保梦
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[41]
一种基板烘烤载具 [P]. 
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唐伟炜 ;
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一种CNC载板真空吸治具 [P]. 
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