一种高质量自支撑多晶金刚石衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511004613.7

申请日：

2025-07-21

公开(公告)号：

CN120945481A

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

李俊鹏任泽阳张金风陈军飞王晗雪

申请人：

西安电子科技大学芜湖研究院西安电子科技大学

申请人地址：

241002 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区科技产业园7号楼

IPC主分类号：

C30B29/04

IPC分类号：

H01L21/02 B82Y40/00 C30B25/02

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

梁柱

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

陕西省西安市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/04申请日:20250721
2025-11-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高质量多晶金刚石膜制备方法 [P].

李红东 ;

万琳丰 ;

王旌丞 ;

成绍恒 ;

王启亮 ;

刘钧松 ;

高楠 .

中国专利 :CN111118471A ,2020-05-08

[2]

一种以GaN为衬底外延高质量多晶金刚石及其制备方法 [P].

李高金 ;

李明君 ;

李志博 ;

吕申申 .

中国专利 :CN117987916A ,2024-05-07

[3]

一种高质量自支撑金刚石厚膜的生长方法 [P].

眭旭 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN121023461A ,2025-11-28

[4]

一种高质量波形金刚石膜的制备方法 [P].

李志博 ;

李明君 ;

李高金 ;

吕申申 .

中国专利 :CN118207512A ,2024-06-18

[5]

一种高质量大尺寸单晶金刚石外延生长的方法 [P].

李成明 ;

郑宇亭 ;

邵思武 ;

朱肖华 ;

刘金龙 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN111206280A ,2020-05-29

[6]

一种八棱多晶金刚石及其制备方法 [P].

安康 ;

李利军 ;

张永康 ;

刘峰斌 ;

张亚琛 ;

肖娜薇 ;

李自超 ;

任美玲 ;

王梦鑫 ;

豆照良 ;

李鸿 .

中国专利 :CN119956484A ,2025-05-09

[7]

一种自支撑金刚石薄膜的制备方法、金刚石薄膜及其应用 [P].

庄媛 ;

曲琛 .

中国专利 :CN117431524B ,2024-02-23

[8]

一种自支撑金刚石薄膜的制备方法、金刚石薄膜及其应用 [P].

庄媛 ;

曲琛 .

中国专利 :CN117431524A ,2024-01-23

[9]

一种超精密高质量抛光金刚石晶圆的方法 [P].

胡光球 ;

陆静 ;

王凯平 .

中国专利 :CN113798991A ,2021-12-17

[10]

一种高质量金刚石绳锯 [P].

胡志福 ;

郭绍勇 .

中国专利 :CN217414497U ,2022-09-13

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