一种以GaN为衬底外延高质量多晶金刚石及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410221047.4
申请日
2024-02-28
公开(公告)号
CN117987916A
公开(公告)日
2024-05-07
发明(设计)人
李高金 李明君 李志博 吕申申
申请人
安徽碳索芯材科技有限公司
申请人地址
237300 安徽省六安市金寨经济开发区(现代产业园区)金叶路中兴产业园3#4#楼
IPC主分类号
C30B28/14
IPC分类号
C23C14/06
代理机构
合肥陆纬知识产权代理事务所(普通合伙) 34218
代理人
袁浩
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种以金刚石为衬底的外延GaN及其制备方法 [P]. 
张粉红 ;
李熙规 .
中国专利 :CN115377196A ,2022-11-22
[2]
一种高质量自支撑多晶金刚石衬底的制备方法 [P]. 
李俊鹏 ;
任泽阳 ;
张金风 ;
陈军飞 ;
王晗雪 .
中国专利 :CN120945481A ,2025-11-14
[3]
一种高质量多晶金刚石膜制备方法 [P]. 
李红东 ;
万琳丰 ;
王旌丞 ;
成绍恒 ;
王启亮 ;
刘钧松 ;
高楠 .
中国专利 :CN111118471A ,2020-05-08
[4]
一种以金刚石为衬底生长的高质量六方氮化硼薄膜及其制备方法 [P]. 
陈占国 ;
谭春波 ;
陈曦 ;
刘秀环 ;
赵纪红 ;
侯丽新 ;
高延军 .
中国专利 :CN113053732A ,2021-06-29
[5]
一种生长高质量金刚石颗粒及金刚石薄膜的方法 [P]. 
朱嘉琦 ;
姚凯丽 ;
代兵 ;
杨磊 ;
韩杰才 .
中国专利 :CN108505018B ,2018-09-07
[6]
一种大尺寸高质量单晶金刚石及其制备方法 [P]. 
陈宁 ;
王浩 ;
崔田 .
中国专利 :CN119956485A ,2025-05-09
[7]
一种高质量金刚石绳锯 [P]. 
胡志福 ;
郭绍勇 .
中国专利 :CN217414497U ,2022-09-13
[8]
一种高质量波形金刚石膜的制备方法 [P]. 
李志博 ;
李明君 ;
李高金 ;
吕申申 .
中国专利 :CN118207512A ,2024-06-18
[9]
一种高质量大尺寸单晶金刚石外延生长的方法 [P]. 
李成明 ;
郑宇亭 ;
邵思武 ;
朱肖华 ;
刘金龙 ;
魏俊俊 ;
陈良贤 .
中国专利 :CN111206280A ,2020-05-29
[10]
一种用于制作GaN HEMT的横向金刚石/GaN/金刚石衬底及制备方法 [P]. 
许晟瑞 ;
王心颢 ;
贠博祥 ;
卢灏 ;
刘旭 ;
徐爽 ;
张进成 ;
张金风 ;
郝跃 .
中国专利 :CN114361013A ,2022-04-15