一种高质量多晶金刚石膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010040561.X

申请日：

2020-01-15

公开(公告)号：

CN111118471A

公开(公告)日：

2020-05-08

发明(设计)人：

李红东万琳丰王旌丞成绍恒王启亮刘钧松高楠

申请人：

申请人地址：

130012 吉林省长春市前进大街2699号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16455 C23C16511 C23C1656 C30B2814 C30B2904 C30B2964

代理机构：

长春吉大专利代理有限责任公司 22201

代理人：

王恩远

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/27 申请公布日:20200508
2020-05-08	公开	公开
2020-06-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20200115

共 50 条

[1]

一种高质量波形金刚石膜的制备方法 [P].

李志博 ;

李明君 ;

李高金 ;

吕申申 .

中国专利 :CN118207512A ,2024-06-18

[2]

一种高质量自支撑多晶金刚石衬底的制备方法 [P].

李俊鹏 ;

任泽阳 ;

张金风 ;

陈军飞 ;

王晗雪 .

中国专利 :CN120945481A ,2025-11-14

[3]

多晶金刚石片的制备方法及多晶金刚石片 [P].

张晶 ;

王陶 ;

肖柏汲 .

中国专利 :CN120400996A ,2025-08-01

[4]

一种以GaN为衬底外延高质量多晶金刚石及其制备方法 [P].

李高金 ;

李明君 ;

李志博 ;

吕申申 .

中国专利 :CN117987916A ,2024-05-07

[5]

一种高质量自支撑金刚石厚膜的生长方法 [P].

眭旭 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN121023461A ,2025-11-28

[6]

一种用于制备多晶金刚石膜的沉积台 [P].

李雨健 ;

黄其荣 ;

于金凤 ;

赵俊贤 ;

冯曙光 ;

朱少锋 .

中国专利 :CN222631617U ,2025-03-18

[7]

一种生长高质量金刚石颗粒及金刚石薄膜的方法 [P].

朱嘉琦 ;

姚凯丽 ;

代兵 ;

杨磊 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN108505018B ,2018-09-07

[8]

一种高质量金刚石绳锯 [P].

胡志福 ;

郭绍勇 .

中国专利 :CN217414497U ,2022-09-13

[9]

一种制备高质量金刚石的气体循环系统 [P].

李成明 ;

安康 ;

陈良贤 ;

贾鑫 ;

魏俊俊 ;

张建军 ;

刘金龙 .

中国专利 :CN208869656U ,2019-05-17

[10]

一种自支撑金刚石膜的制备方法 [P].

于盛旺 ;

高洁 ;

于宗旭 ;

郑可 ;

刘小萍 ;

钟强 ;

黑鸿君 ;

申艳艳 ;

贺志勇 .

中国专利 :CN104561925B ,2015-04-29

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