半导体晶圆盒智能仓储

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422731794.0
申请日
2024-11-08
公开(公告)号
CN223521574U
公开(公告)日
2025-11-07
发明(设计)人
沙伟中
申请人
苏州艾斯达克智能科技有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市苏州高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室
IPC主分类号
B65G1/02
IPC分类号
B65G1/04 B66F9/12
代理机构
上海坤元知识产权代理有限公司 31376
代理人
王文娟
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
半导体晶圆氮气智能仓储 [P]. 
沙伟中 .
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[2]
用于存储半导体晶圆的智能仓储 [P]. 
沙伟中 .
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[3]
半导体晶圆盒仓储运输结构系统 [P]. 
邓羽辰 .
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[4]
一种半导体晶圆智能仓储柜 [P]. 
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[5]
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[6]
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沙伟中 .
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[7]
存取半导体晶圆片存储盒的机械手装置 [P]. 
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[8]
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邓羽辰 .
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[10]
半导体晶圆盒转运装置 [P]. 
沙伟中 .
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