多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422900451.2

申请日：

2024-11-27

公开(公告)号：

CN223441982U

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

詹军

申请人：

南京孚克讯新材料有限公司

申请人地址：

210000 江苏省南京市栖霞区栖霞街道十月公社科技创业园内S09厂房五楼

IPC主分类号：

B24B29/02

IPC分类号：

B24B37/10 B24B37/30 B24B41/06 B24B41/04 B24B47/12

代理机构：

南京润权知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32779

代理人：

王晓梅

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置 [P].

聂传凯 .

中国专利 :CN218364021U ,2023-01-24

[2]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置 [P].

苏晋苗 ;

苏冠暐 .

中国专利 :CN212044170U ,2020-12-01

[3]

碳化硅晶圆抛光装置 [P].

韩波 ;

韩宗考 ;

孟璇 .

中国专利 :CN120480794A ,2025-08-15

[4]

一种碳化硅晶圆研磨抛光工艺 [P].

陈宇翔 ;

翟会阳 ;

李永波 ;

李纪宏 .

中国专利 :CN117549184A ,2024-02-13

[5]

一种碳化硅晶圆研磨抛光工艺 [P].

严立巍 .

中国专利 :CN115464469A ,2022-12-13

[6]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备 [P].

宁富生 .

中国专利 :CN217992125U ,2022-12-09

[7]

一种高效碳化硅晶圆研磨装置 [P].

侯明宇 ;

肖方振 ;

姚佳辉 ;

黄粤 .

中国专利 :CN223442000U ,2025-10-17

[8]

碳化硅晶圆化学机械抛光装置 [P].

黄瑾 ;

张洁 ;

林武庆 ;

汪良 .

中国专利 :CN216030138U ,2022-03-15

[9]

一种研磨碳化硅晶圆的方法、碳化硅晶圆研磨液及其应用 [P].

郝唯佑 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN117645841A ,2024-03-05

[10]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置与其制程方法 [P].

苏晋苗 ;

苏冠暐 .

中国专利 :CN111300259A ,2020-06-19

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