一种高效碳化硅晶圆研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423003314.5

申请日：

2024-12-05

公开(公告)号：

CN223442000U

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

侯明宇肖方振姚佳辉黄粤

申请人：

太原科技大学

申请人地址：

030024 山西省太原市万柏林区窊流路66号

IPC主分类号：

B24B37/00

IPC分类号：

B24B37/27

代理机构：

济南鲁科专利代理有限公司 37214

代理人：

罗锐亭

法律状态：

授权

国省代码：

山西省晋城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置 [P].

聂传凯 .

中国专利 :CN218364021U ,2023-01-24

[2]

多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置 [P].

詹军 .

中国专利 :CN223441982U ,2025-10-17

[3]

一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置 [P].

邵永杰 .

中国专利 :CN223160721U ,2025-07-29

[4]

一种研磨碳化硅晶圆的方法、碳化硅晶圆研磨液及其应用 [P].

郝唯佑 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN117645841A ,2024-03-05

[5]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置 [P].

苏晋苗 ;

苏冠暐 .

中国专利 :CN212044170U ,2020-12-01

[6]

一种碳化硅晶圆 [P].

张行富 ;

宣丽英 ;

潘胜浆 .

中国专利 :CN216773241U ,2022-06-17

[7]

一种碳化硅高效研磨装置 [P].

李冰 .

中国专利 :CN213032651U ,2021-04-23

[8]

一种碳化硅晶圆的研磨装置及方法 [P].

张玺 ;

皮孝东 ;

张序清 ;

朱如忠 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN114800253A ,2022-07-29

[9]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备 [P].

宁富生 .

中国专利 :CN217992125U ,2022-12-09

[10]

一种碳化硅晶圆清洗装置 [P].

卢钟川 ;

卢钦月 ;

卢诗杰 .

中国专利 :CN220753402U ,2024-04-09

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