一种碳化硅晶圆的自动精细研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422323878.0

申请日：

2024-09-24

公开(公告)号：

CN223160721U

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

邵永杰

申请人：

海宁跨界国际半导体制造有限公司

申请人地址：

314000 浙江省嘉兴市海宁市长安镇新潮路19号2幢1层

IPC主分类号：

B24B37/08

IPC分类号：

B24B37/34 B24B55/06

代理机构：

合肥懿晟卓越知识产权代理事务所(普通合伙) 34394

代理人：

陈少静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高效碳化硅晶圆研磨装置 [P].

侯明宇 ;

肖方振 ;

姚佳辉 ;

黄粤 .

中国专利 :CN223442000U ,2025-10-17

[2]

一种研磨碳化硅晶圆的方法、碳化硅晶圆研磨液及其应用 [P].

郝唯佑 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN117645841A ,2024-03-05

[3]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置 [P].

聂传凯 .

中国专利 :CN218364021U ,2023-01-24

[4]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光装置 [P].

苏晋苗 ;

苏冠暐 .

中国专利 :CN212044170U ,2020-12-01

[5]

多晶碳化硅晶圆研磨抛光装置 [P].

詹军 .

中国专利 :CN223441982U ,2025-10-17

[6]

一种碳化硅晶圆的研磨装置及方法 [P].

张玺 ;

皮孝东 ;

张序清 ;

朱如忠 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN114800253A ,2022-07-29

[7]

一种碳化硅晶圆研磨抛光工艺 [P].

严立巍 .

中国专利 :CN115464469A ,2022-12-13

[8]

一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备 [P].

宁富生 .

中国专利 :CN217992125U ,2022-12-09

[9]

一种碳化硅晶圆 [P].

张行富 ;

宣丽英 ;

潘胜浆 .

中国专利 :CN216773241U ,2022-06-17

[10]

碳化硅晶圆和碳化硅晶圆的氧化方法 [P].

林秀岩 ;

曹力力 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120322001A ,2025-07-15

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