一种大口径的MEMS法布里珀罗红外滤波器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511018742.1

申请日：

2025-07-23

公开(公告)号：

CN120993543A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

周佳骏陈雨柔赖建军熊宇杰吕文中

申请人：

华中科技大学华中科技大学温州先进制造技术研究院

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G02B5/28

IPC分类号：

B81B7/02 G02B26/00

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

徐美琳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/28申请日:20250723
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法 [P].

李易 ;

焦文龙 ;

江超 ;

李美荣 ;

姜森林 ;

谢会开 .

中国专利 :CN119620379A ,2025-03-14

[2]

MEMS法布里-珀罗滤波器及其制备方法 [P].

李易 ;

焦文龙 ;

江超 ;

李美荣 ;

姜森林 ;

谢会开 .

中国专利 :CN119620379B ,2025-10-24

[3]

波长可调谐的MEMS‑法布里‑珀罗滤波器 [P].

M·卡迈勒 ;

T·李 ;

D·尤 ;

漆启年 .

中国专利 :CN106133563A ,2016-11-16

[4]

光纤法布里-珀罗可调滤波器 [P].

黄振国 .

中国专利 :CN201984180U ,2011-09-21

[5]

一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器 [P].

梅加纯 ;

程筑江 ;

邹承明 ;

陆林俊 ;

董谊 .

中国专利 :CN203480076U ,2014-03-12

[6]

一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器 [P].

梅加纯 ;

董谊 ;

程筑江 ;

邹承明 ;

陆林俊 .

中国专利 :CN103257404B ,2013-08-21

[7]

一种新型法布里-珀罗可调谐滤波器 [P].

黄清伟 ;

候海港 ;

黄颖璞 .

中国专利 :CN112629660A ,2021-04-09

[8]

一种可调谐法布里－珀罗滤波器 [P].

卢良驹 .

中国专利 :CN1839332A ,2006-09-27

[9]

一种可调谐法布里-珀罗滤波器 [P].

高培良 .

中国专利 :CN102955279A ,2013-03-06

[10]

一种静电驱动MEMS法布里-珀罗滤波器的制备方法 [P].

张坤 ;

王鹏 ;

郭家祥 ;

张涛 ;

邓科 ;

彭嘉慧 ;

胡伟达 .

中国专利 :CN119861520A ,2025-04-22

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