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导电载具及半导体加工设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311005003.X
申请日：
2023-08-10
公开(公告)号：
CN117026214B
公开(公告)日：
2025-11-07
发明(设计)人：
朱太荣 刘群 林佳继
申请人：
拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请人地址：
518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
IPC主分类号：
C23C16/50
IPC分类号：
C23C16/458 H10F71/00
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
潘登
法律状态：
授权
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-07 授权 授权
共 50 条
[1]
半导体载具、半导体加工设备及吹扫方法 [P]. 
刘皓 .
中国专利 :CN111607783B ,2020-09-01
[2]
载台机构及半导体加工设备 [P]. 
贾士亮 .
中国专利 :CN106887397A ,2017-06-23
[3]
移载装置及半导体加工设备 [P]. 
叶伟乐 ;
肖康南 ;
赖太辛 ;
李立辉 .
中国专利 :CN120453211A ,2025-08-08
[4]
校准治具及半导体加工设备 [P]. 
诸文锦 .
中国专利 :CN222562665U ,2025-03-04
[5]
半导体加工设备及半导体加工方法 [P]. 
沈康 ;
王兆祥 ;
涂乐义 ;
梁洁 ;
吴磊 .
中国专利 :CN117612979A ,2024-02-27
[6]
半导体加工设备及半导体加工方法 [P]. 
沈康 ;
王兆祥 ;
涂乐义 ;
梁洁 ;
吴磊 .
中国专利 :CN117612979B ,2024-04-02
[7]
半导体加工设备 [P]. 
林源为 .
中国专利 :CN114695065B ,2025-06-24
[8]
半导体加工设备 [P]. 
林源为 .
中国专利 :CN114695065A ,2022-07-01
[9]
半导体加工设备 [P]. 
张明 .
中国专利 :CN204407297U ,2015-06-17
[10]
半导体加工设备的托盘及半导体加工设备 [P]. 
李宽 .
中国专利 :CN111863700B ,2024-11-26
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