学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

集成式MEMS惯性器件及其制作方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511501745.0
申请日：
2025-10-21
公开(公告)号：
CN120970693A
公开(公告)日：
2025-11-18
发明(设计)人：
黄晟 汪超 蒋文杰 方明
申请人：
武汉衡惯科技发展有限公司
申请人地址：
430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B3栋10楼1131（自贸区武汉片区）
IPC主分类号：
G01C25/00
IPC分类号：
G01C21/16 B81C3/00 B81B7/02
代理机构：
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人：
吴俣
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-05 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01C 25/00申请日:20251021
2025-11-18 公开 公开
共 50 条
[1]
MEMS惯性器件结构及制作方法 [P]. 
黄晟 ;
周元 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 .
中国专利 :CN120483031A ,2025-08-15
[2]
MEMS惯性器件结构及制作方法 [P]. 
黄晟 ;
周元 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 .
中国专利 :CN120483031B ,2025-09-30
[3]
惯性器件及其制作方法 [P]. 
吕林静 ;
张兆林 .
中国专利 :CN117446745A ,2024-01-26
[4]
MEMS惯性器件的制备方法及MEMS惯性器件 [P]. 
张兆林 .
中国专利 :CN120622404A ,2025-09-12
[5]
MEMS惯性器件的制备方法及MEMS惯性器件 [P]. 
张兆林 .
中国专利 :CN120622404B ,2025-12-05
[6]
MEMS惯性器件 [P]. 
李军岐 .
中国专利 :CN205373719U ,2016-07-06
[7]
MEMS惯性器件 [P]. 
李军岐 .
中国专利 :CN106813660A ,2017-06-09
[8]
一种MEMS惯性器件敏感结构及其制作方法 [P]. 
方澍 ;
王甫 ;
鞠莉娜 ;
黄艳辉 .
中国专利 :CN118706112A ,2024-09-27
[9]
一种MEMS惯性器件及其制造方法 [P]. 
黄晟 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 ;
刘翔天 ;
杜全沛 .
中国专利 :CN120385324A ,2025-07-29
[10]
一种MEMS惯性器件及其制造方法 [P]. 
黄晟 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 ;
刘翔天 ;
杜全沛 .
中国专利 :CN120385324B ,2025-09-30
12345